博客
TFT-LCD面板制造前端（Array）的靜電控制盲區(qū)
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TFT Array段在LCD面板制造中的階段
TFT（Thin Film Transistor，薄膜晶體管）Array（陣列）段是TFT-LCD面板生產(chǎn)制造的前端，用于制備LCD面板顯示區(qū)域的TFT像素及外圍控制線路。
Cell（液晶盒）段是在LCD面板TFT Array制備完成后，將CF（Color Filter）玻璃與TFT封合在一起，并注入液晶分子，從而形成一個LCD面板的完整結(jié)構(gòu)。
Module（模組）段是在LCD盒制備完成后，貼上polarizer（偏光片）、綁定上驅(qū)動IC或PCBA以及FPC，背光，最終形成一個LCD顯示屏的完整電氣結(jié)構(gòu)。
TFT Array段的生產(chǎn)流程
TFT-LCD面板的TFT array制備與半導(dǎo)體的wafer生產(chǎn)工序極為類似，由各種鍍膜（或稱為沉積，Deposition）、光刻（Photo）、刻蝕（Etching）以及剝離光阻（Stripper）。主要差別在于LCD的基板為glass（玻璃），制程精度較低（目前處于1um左右的水平）。
現(xiàn)今國內(nèi)LCD面板廠在TFT Array段的靜電管控做法
TFT Array的工序都是自動化的操作機臺（幾乎全部產(chǎn)自于日本、韓國），對于玻璃基板的操作集中表現(xiàn)為玻璃基板與機臺間的接觸分離（lift pin完成）、自動傳輸系統(tǒng)（roller完成）的摩擦以及機械叉手（真空pad）的搬運。
受到一般電子器件靜電防護做法的影響，尤其是圍繞IC ESD防護為典型代表的ESDS20.20體系，對不少LCD面板廠的ESD防護產(chǎn)生了不可忽視的影響。靜電接地、靜電釋放/消散、導(dǎo)電性/耗散性接觸、離子化等做法是集中體現(xiàn)。
然而，所采取的靜電防護做法或措施，是否有助于TFT線路的靜電損壞解決，還是惡化，必須要建立在基于對TFT array段TFT線路靜電損壞失效機理與解決思路的正確認識上，否則，難免走入事倍功半、乃至于南轅北轍的窘地。
圖1. TFT Array段的典型靜電損壞風險（典型的field sensitive）
圖2. 某品牌設(shè)備原配的絕緣roller
圖3. 某些工廠選用導(dǎo)電roller
圖4. 某工廠在玻璃roller后安裝的上方離子化
圖5. TFT Array某設(shè)備的玻璃機臺與lift pin結(jié)構(gòu)
至今，國內(nèi)的LCD面板制造產(chǎn)業(yè)仍是比較年輕的行業(yè)，其中的靜電防護管控更是年輕。要獲得LCD面板（乃至于OLED）制造的靜電防護know-how，并維持制造過程較低的靜電不良損失，必然需要經(jīng)過大量持續(xù)的研究、實驗、驗證等持續(xù)的有效付出，方可逐步積累，不斷提高生產(chǎn)制造過程中的靜電防護水平，從而轉(zhuǎn)化為應(yīng)有的企業(yè)、工業(yè)價值。
TFT（Thin Film Transistor，薄膜晶體管）Array（陣列）段是TFT-LCD面板生產(chǎn)制造的前端，用于制備LCD面板顯示區(qū)域的TFT像素及外圍控制線路。
Cell（液晶盒）段是在LCD面板TFT Array制備完成后，將CF（Color Filter）玻璃與TFT封合在一起，并注入液晶分子，從而形成一個LCD面板的完整結(jié)構(gòu)。
Module（模組）段是在LCD盒制備完成后，貼上polarizer（偏光片）、綁定上驅(qū)動IC或PCBA以及FPC，背光，最終形成一個LCD顯示屏的完整電氣結(jié)構(gòu)。
TFT Array段的生產(chǎn)流程
TFT-LCD面板的TFT array制備與半導(dǎo)體的wafer生產(chǎn)工序極為類似，由各種鍍膜（或稱為沉積，Deposition）、光刻（Photo）、刻蝕（Etching）以及剝離光阻（Stripper）。主要差別在于LCD的基板為glass（玻璃），制程精度較低（目前處于1um左右的水平）。
現(xiàn)今國內(nèi)LCD面板廠在TFT Array段的靜電管控做法
TFT Array的工序都是自動化的操作機臺（幾乎全部產(chǎn)自于日本、韓國），對于玻璃基板的操作集中表現(xiàn)為玻璃基板與機臺間的接觸分離（lift pin完成）、自動傳輸系統(tǒng)（roller完成）的摩擦以及機械叉手（真空pad）的搬運。
受到一般電子器件靜電防護做法的影響，尤其是圍繞IC ESD防護為典型代表的ESDS20.20體系，對不少LCD面板廠的ESD防護產(chǎn)生了不可忽視的影響。靜電接地、靜電釋放/消散、導(dǎo)電性/耗散性接觸、離子化等做法是集中體現(xiàn)。
然而，所采取的靜電防護做法或措施，是否有助于TFT線路的靜電損壞解決，還是惡化，必須要建立在基于對TFT array段TFT線路靜電損壞失效機理與解決思路的正確認識上，否則，難免走入事倍功半、乃至于南轅北轍的窘地。
圖1. TFT Array段的典型靜電損壞風險（典型的field sensitive）
圖2. 某品牌設(shè)備原配的絕緣roller
圖3. 某些工廠選用導(dǎo)電roller
圖4. 某工廠在玻璃roller后安裝的上方離子化
圖5. TFT Array某設(shè)備的玻璃機臺與lift pin結(jié)構(gòu)
至今，國內(nèi)的LCD面板制造產(chǎn)業(yè)仍是比較年輕的行業(yè)，其中的靜電防護管控更是年輕。要獲得LCD面板（乃至于OLED）制造的靜電防護know-how，并維持制造過程較低的靜電不良損失，必然需要經(jīng)過大量持續(xù)的研究、實驗、驗證等持續(xù)的有效付出，方可逐步積累，不斷提高生產(chǎn)制造過程中的靜電防護水平，從而轉(zhuǎn)化為應(yīng)有的企業(yè)、工業(yè)價值。
