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美國(guó)喬治亞理工學(xué)院(Georgia Institute of Technology，Georgia Tech)教授、壓電材料(piezo-electric material)專家Zhong Lin Wang，開發(fā)出一種新的“壓電-光電子(piezo-phototronic)”方案，可望為機(jī)器人帶來具備觸感的人造皮膚。 利用這種由Wang所首創(chuàng)的新種類半導(dǎo)體組件，其研究團(tuán)隊(duì)已經(jīng)制作出人造皮膚的原型，可賦予機(jī)器人如人類般的觸感，或是用以制作無(wú)墨水指紋掃描機(jī)、生物造影(biological imaging)或是提升微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置的性能。 “壓電-光電子”效應(yīng)是利用藉由變形壓電奈米線所導(dǎo)致的電荷極化(charge polarization)，強(qiáng)化微型LED內(nèi)的電荷傳輸與重組；該LED是絕緣藍(lán)寶石基板上，于n型氮化鎵層上生長(zhǎng)p型氧化鋅奈米線。每當(dāng)奈米線數(shù)組感受到來自人類或機(jī)器人手指觸摸的應(yīng)變(strain)，p-n接面就會(huì)讓LED發(fā)光，其光強(qiáng)度與所施加的壓力成正比。而其發(fā)光影像──舉例來說，可能是一個(gè)指紋──就能用傳統(tǒng)的光學(xué)技術(shù)來感應(yīng)。 
“壓電-光電子”感測(cè)裝置原理（來源：Georgia Tech） Wang的團(tuán)隊(duì)最近展示了直徑2.7微米的氧化鋅奈米線數(shù)組，能以每吋6,300點(diǎn)(dots)的分辨率感測(cè)觸摸，切換時(shí)間90毫秒(milliseconds)；研究團(tuán)隊(duì)是以低溫化學(xué)生長(zhǎng)技術(shù)，在氮化鎵薄膜上制作奈米線圖案，并以熱塑材料在奈米線之間提供支撐。 圖案化的鎳-金電極與底部的氮化鎵薄膜形成歐姆觸點(diǎn)(ohmic contact)，同時(shí)透明的氧化銦錫(indium-tin oxide，ITO)則沉積于頂部做為共同電極。未來該研究團(tuán)隊(duì)計(jì)劃透過較高溫度的奈米線生長(zhǎng)制程，進(jìn)一步提升組件的分辨率。
喬治亞理工學(xué)院教授Zhong Lin Wang開發(fā)能將機(jī)械應(yīng)力直接轉(zhuǎn)換成光學(xué)影像的傳感器（來源：Georgia Tech） |
