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本文提出了一種新的可靠的圓片級(jí)1/f噪聲測(cè)量方法和架構(gòu)。所提出的測(cè)試架構(gòu)采用了吉時(shí)利的系列儀器，包括4200-SCS、428和一個(gè)低通濾波器。其中采用了吉時(shí)利的自動(dòng)特征分析套件（ACS）軟件來(lái)控制測(cè)量?jī)x器的操作，采集/分析測(cè)得的數(shù)據(jù)。由于所用的低通濾波器能夠消除所有高于0.5 Hz的高頻噪聲，因此大大提高了1/f噪聲的測(cè)量精度。利用這一測(cè)量架構(gòu)能夠在各種偏壓條件下評(píng)測(cè)具有不同尺寸的NMOS和PMOS器件的1/f噪聲特征。 下載： 
圓片級(jí)噪聲的一種新測(cè)量方法.pdf
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