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來源：IT之家 據(jù)北方華創(chuàng)官方宣布，今天，北方華創(chuàng)正式發(fā)布 CCP 介質(zhì)刻蝕機，目前已在 5 家客戶完成驗證并實現(xiàn)量產(chǎn)。此前北方華創(chuàng)已推出 ICP 刻蝕機、金屬刻蝕機等，實現(xiàn)刻蝕工藝全覆蓋。 北方華創(chuàng) NMC508 RIE 介質(zhì)刻蝕機采用 8 吋設(shè)備二十年工藝基礎(chǔ)；專為 8 吋工藝設(shè)計的腔室與硬件，滿足定制化需求；6&8 吋兼容，可實現(xiàn)快速切換；目前，已在 5 家客戶完成驗證并實現(xiàn)量產(chǎn)；支持 18 年成熟的軟件系統(tǒng)應(yīng)用，以及穩(wěn)定的備件系統(tǒng)，配備可靠供應(yīng)鏈；搭載全套服務(wù)團隊，可提供包括工藝開發(fā)、零部件供應(yīng)、軟件升級、質(zhì)保服務(wù)等在內(nèi)的全方位保障。 據(jù)官方介紹，NMC508 RIE 介質(zhì)刻蝕機在前道工藝上，具有刻蝕形貌好、選擇比高、工藝性能優(yōu)越的特點；在后道工藝，可實現(xiàn)對金屬副產(chǎn)物的有效控制，維護周期長；采用多頻射頻技術(shù)，具有刻蝕速率高、工藝均勻性佳、工藝窗口大等特點，可更好滿足深孔小 CD 的應(yīng)用發(fā)展趨勢；在晶圓傳輸平臺系統(tǒng)上，采用自主研發(fā)的通用平臺，擁有成熟的軟件系統(tǒng)，并具備晶圓自動定心 (AWC) 功能，滿足晶圓穩(wěn)定傳輸作業(yè)的需求；在腔室設(shè)計上，采用獨特的防等離子打火結(jié)構(gòu)和精確的電極控溫設(shè)計，具備溫度分區(qū)控制功能，配備終點檢測系統(tǒng)，滿足關(guān)鍵刻蝕工藝的均一性、終點抓取等需求，且顆粒表現(xiàn)佳；耗材壽命長，維護便捷，可滿足您擁有成本 (COO) 和消耗成本 (COC) 雙低的需求。作為 CCP 刻蝕機，具備在介質(zhì)刻蝕上的高選擇比、高刻蝕速率等優(yōu)勢，適用于介質(zhì)類氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等膜層材料；可為客戶提供包括邏輯器件、功率器件、化合物半導(dǎo)體等在內(nèi)的多種特色工藝；主要應(yīng)用領(lǐng)域包括但不限于：Logic, BCD, Power (Si / SiC / GaN), MEMS。 NMC508 RIE 介質(zhì)刻蝕機的推出，完成了該領(lǐng)域國產(chǎn)設(shè)備工藝的最后一塊拼圖，實現(xiàn)了北方華創(chuàng)在 8 吋刻蝕設(shè)備上的整體解決方案，包括硅刻蝕、深硅刻蝕、金屬刻蝕、化合物半導(dǎo)體刻蝕 (SiC, GaN, GaAs, InP, LiNbO3, LiTaO3 等）等工藝設(shè)備。 北方華創(chuàng)還可提供包括 PVD、CVD、ALD、爐管、清洗等在內(nèi)的 8 吋設(shè)備，提供整體解決方案。 |
