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上海集成電路材料研究院合成實(shí)驗(yàn)室正式啟用

發(fā)布時(shí)間:2023-2-7 10:10    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 集成電路 , 材料
2月6日上午,上海集成電路材料研究院(“集材院”)在上;瘜W(xué)工業(yè)區(qū)投資建設(shè)的集成電路材料合成實(shí)驗(yàn)室正式啟用,這既是上海電子化學(xué)品專區(qū)加快打造自主創(chuàng)新平臺(tái)的重要組成部分,也是上海國(guó)際化工新材料創(chuàng)新中心重點(diǎn)引入的研發(fā)試驗(yàn)機(jī)構(gòu)之一,成為上;^(qū)加速創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈與創(chuàng)新鏈融合發(fā)展的又一重要里程碑。

2020年以來(lái),上;^(qū)主動(dòng)對(duì)接國(guó)家戰(zhàn)略和上海集成電路等先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求,全力推進(jìn)上海電子化學(xué)品專區(qū)建設(shè),并以培育自主創(chuàng)新平臺(tái)為紐帶,助力促進(jìn)科創(chuàng)建設(shè)協(xié)同發(fā)展,取得顯著成效。



管委會(huì)黨組書記、主任馬靜,管委會(huì)副主任侯金花,發(fā)展公司總經(jīng)理金健,中科院微系統(tǒng)所黨委書記俞躍輝,中科院微系統(tǒng)所副所長(zhǎng)、集材院董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理俞文杰等出席揭幕儀式,并參觀現(xiàn)場(chǎng)和座談交流。

面向集成電路材料企業(yè)在性能測(cè)試與研發(fā)驗(yàn)證等方面的共性訴求,集材院于2022年1月在電子化學(xué)品專區(qū)注冊(cè)成立全資子公司上海集材微電子材料技術(shù)有限公司,落戶上海國(guó)際化工新材料創(chuàng)新中心。注冊(cè)資本3000萬(wàn)元,一期項(xiàng)目建設(shè)總投入1.5億元,總建筑面積近2100㎡。該平臺(tái)建成合成實(shí)驗(yàn)室、放大實(shí)驗(yàn)室、純化及罐裝實(shí)驗(yàn)室、分析實(shí)驗(yàn)室等專業(yè)實(shí)驗(yàn)室,可開(kāi)發(fā)化學(xué)合成技術(shù)、合成結(jié)構(gòu)精準(zhǔn)可控的集成電路材料,探索放大工藝、制備公斤級(jí)集成電路材料,并開(kāi)發(fā)原料純化技術(shù)、制備ppb、ppt級(jí)金雜含量的集成電路材料。分析實(shí)驗(yàn)室可提供全面、系統(tǒng)性的集成電路材料測(cè)試表征分析,并將逐步建立起集成電路材料分析測(cè)試及操作規(guī)范的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí),分析實(shí)驗(yàn)室服務(wù)能力向?qū)^(qū)內(nèi)企業(yè)共享開(kāi)放。


(集材院實(shí)驗(yàn)室部分公共服務(wù)能力)
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