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臺(tái)階儀亞埃級(jí)垂直分辨率能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的測(cè)量和分析，儀器具備出色的精確性和穩(wěn)定性。在納米加工領(lǐng)域，臺(tái)階儀不僅能準(zhǔn)確評(píng)估材料的表面形貌和結(jié)構(gòu)，同時(shí)也為納米加工過(guò)程的控制和優(yōu)化提供了可靠的依據(jù)。利用臺(tái)階儀實(shí)時(shí)觀測(cè)材料表面的微觀變化，并對(duì)其進(jìn)行全面的分析和表征，這對(duì)于了解材料的晶體結(jié)構(gòu)和電子性質(zhì)等方面至關(guān)重要。 CP系列臺(tái)階儀線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。具有出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。 測(cè)量功能 （1）臺(tái)階高度：能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度 （2）粗糙度與波紋度：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過(guò)計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項(xiàng)參數(shù)； （3）翹曲與形狀：能夠測(cè)量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中，因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化，或者類(lèi)似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。 
臺(tái)階儀的應(yīng)用，不僅能幫助科研人員解決納米材料表面形貌難題，還為納米加工提供了重要參考。此外，臺(tái)階儀還具有適用范圍廣的優(yōu)點(diǎn)。它對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性、材料種類(lèi)、材料硬度都沒(méi)有特別要求。
臺(tái)階儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，它的應(yīng)用不僅能夠提高納米加工的效率和質(zhì)量，同時(shí)也為材料工程領(lǐng)域的研究提供了新的視角。 |
