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什么是晶圓探針測試?如何實現(xiàn)探針臺的自動化控制?

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發(fā)表于 2024-7-18 17:37:41 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
  什么是晶圓探針測試?
  晶圓探針測試也叫中間測試,是半導(dǎo)體(集成電路)生產(chǎn)過程中的重要步驟,通過探針臺檢測晶圓上芯片的性能來判斷芯片是否符合設(shè)計要求,從而減少在封裝過程中不必要的成本,同時也指導(dǎo)著產(chǎn)品工藝設(shè)計的提升。
  隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,晶圓尺寸的增大和集成度的提高,晶圓測試時間隨之增加,對晶圓探針測試技術(shù)和設(shè)備的要求也日益嚴(yán)格。

  晶圓探針測試流程
  晶圓探針測試通常會用到以下設(shè)備:
  探針測試臺:用于傳送晶圓,控制晶圓芯片的位置,確保每個芯片每個位置都可以測試到。
  探針測試卡:探針測試卡上的探針用來接觸晶圓;與探針測試機連接通訊,輸送信號。
  探針測試機:用來施加信號,進行測試。測試完成后,探針臺會收到信號,移動位置開始測下一個芯片位置。

  NSAT-1000射頻組件測試系統(tǒng):晶圓探針測試
  晶圓探針測試程序復(fù)雜,測試耗時長,優(yōu)化測試方式以及提高測試效率是半導(dǎo)體制造業(yè)面臨的重要挑戰(zhàn)之一。
  NSAT-1000射頻測試系統(tǒng)在ATECLOUD測試平臺基礎(chǔ)上開發(fā)而成,具有強大的兼容性,可以靈活快速接入設(shè)備,自動識別儀器,探針臺就是其中之一。平臺會封裝探針臺的儀器指令,對其進行兼容,以此實現(xiàn)對探針臺的程控。

  在北京某公司與納米軟件合作的項目中,通過射頻自動化測試系統(tǒng)與探針臺和網(wǎng)絡(luò)分析儀的通訊來實現(xiàn)對晶圓芯片的S參數(shù)自動化測試。在與探針臺的通訊交互中:
  1. 系統(tǒng)告知探針臺流程開始
  2. 系統(tǒng)獲取探針臺狀態(tài),判斷是否可以開始測試
  3. 系統(tǒng)從探針臺獲取當(dāng)前被測晶圓芯片的坐標(biāo)
  4. 系統(tǒng)向探針臺反饋當(dāng)前產(chǎn)品測試結(jié)果

  不僅可以通過NSAT-1000自動化測試系統(tǒng)完成晶圓芯片S參數(shù)測試,而且還可以借助此系統(tǒng)對被測產(chǎn)品進行數(shù)據(jù)分析、生成測試報告,為用戶提供一站式自動化測試服務(wù)。更多關(guān)于NSAT-1000程控探針臺測試晶圓芯片的信息,可訪問:https://www.namisoft.com/case/dzkfcsal/469.html

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