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西班牙公司擬開(kāi)發(fā)CMOS工藝單片式MEMS慣性傳感器單元

發(fā)布時(shí)間:2012-5-14 09:58    發(fā)布者:李寬
關(guān)鍵詞: MEMS , 慣性傳感
一家位于西班牙巴賽羅納的初創(chuàng)公司Baolab Microsystems SL宣布,正計(jì)劃采用該公司的一種新技術(shù),來(lái)開(kāi)發(fā)可重配置的慣性傳感器單元(IMU)。Baloab Microsystems SL是首創(chuàng)在CMOS晶圓金屬互連層中開(kāi)發(fā)出微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)元件的公司。

Baolab已經(jīng)開(kāi)發(fā)出基于該公司特有技術(shù)的3D羅盤(pán)。這家公司同時(shí)表示,預(yù)計(jì)在對(duì)其技術(shù)進(jìn)行修改后,還能進(jìn)一步維入加速度計(jì)陀螺儀,進(jìn)而開(kāi)發(fā)出全新的IMU。然而,Baolab并未說(shuō)明何時(shí)才能采用其后段CMOS工藝正式生產(chǎn)多軸加速度計(jì)或陀螺儀。

結(jié)合三軸加速度計(jì)、陀螺儀和磁力計(jì),可提供絕對(duì)位置和方向數(shù)據(jù)。這類(lèi)產(chǎn)品通常結(jié)合衛(wèi)星數(shù)據(jù),在移動(dòng)設(shè)備應(yīng)用中提供位置感知功能。

“我們已經(jīng)開(kāi)發(fā)出能夠修改我們所開(kāi)發(fā)的3D NanoCompass產(chǎn)品架構(gòu)的方式,以便用于開(kāi)發(fā)陀螺儀、加速度計(jì)以及磁力計(jì),Baolab CEO Dave Doyle說(shuō)!坝捎谖覀円呀(jīng)能在單一芯片中同時(shí)整合各種不同的傳感器和電子元件,同時(shí)提供控制功能與智能特性,因此,我們將比創(chuàng)造出一種業(yè)界渴望的產(chǎn)品──多傳感器的IMU,這種新元件將具備更靈活的特性,能夠依照各種應(yīng)用需求來(lái)動(dòng)態(tài)配置!

一般來(lái)說(shuō),MEMS、模擬信號(hào)調(diào)節(jié)器,以及數(shù)字信號(hào)處理會(huì)需要三種不同的工藝。這些元件通常采用多芯片封裝,以便讓它們成為具備數(shù)字輸出的MEMS元件。而藉由在CMOS芯片的金屬層中整合MEMS架構(gòu),Baolab聲稱(chēng)將能開(kāi)發(fā)出單片式的多單元MEMS元件。

“我們的目標(biāo)是開(kāi)發(fā)出超低成本,具備智能特性的多傳感器NanoIMU 產(chǎn)品,未來(lái)我們將推出一系列的納米傳感器,”Doyle說(shuō)。
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