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激光二極管（Laser diode，LD）和垂直腔面發(fā)射激光器（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，VCSEL）在光通信、光譜學(xué)和其他許多重要應(yīng)用中是兩種主要的元器件。隨著對(duì)上述應(yīng)用的需求的增長(zhǎng)，對(duì)這兩類基本元件的需求也隨之增長(zhǎng)，這就要求人們更加注重于開(kāi)發(fā)精確且成本經(jīng)濟(jì)性好的生產(chǎn)測(cè)試策略。 典型的激光二極管模組由一個(gè)激光二極管和背光探測(cè)二極管組成。帶溫控的激光二極管模組還可以包括一個(gè)半導(dǎo)體制冷器（thermoelectric controller，TEC）和一個(gè)熱敏電阻以便對(duì)激光二極管工作溫度進(jìn)行精確調(diào)節(jié)，如圖1所示。（另外，在高速激光二極管模組中還包括一個(gè)集成的調(diào)制器芯片，未在圖1中示出）。 圖1. 典型激光二極管模組 圖2. 簡(jiǎn)化的垂直腔面發(fā)射激光器結(jié)構(gòu)（來(lái)源：Kartalopoulos） 相比于標(biāo)準(zhǔn)的激光二極管，垂直腔面發(fā)射激光器VCSEL具有更為復(fù)雜的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，但其封裝結(jié)構(gòu)一般更為簡(jiǎn)單。典型VCSEL結(jié)構(gòu)的剖面圖如圖2所示。不同于邊緣發(fā)射激光二極管，VCSEL可實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)測(cè)試，這一特點(diǎn)同時(shí)為VCSEL的測(cè)試提供了機(jī)遇和挑戰(zhàn)，在下面部分將對(duì)其進(jìn)行探討。 需要記住的是，無(wú)論這兩種器件中的哪一種，都需要多步工序完成制造。制造中的每一個(gè)工藝步驟本質(zhì)上關(guān)乎器件價(jià)值的增長(zhǎng)，這決定了人們要在執(zhí)行下一步組裝工藝之前進(jìn)行元器件測(cè)試。例如，由于背光探測(cè)二極管失效導(dǎo)致整個(gè)激光二極管模組報(bào)廢的成本，要遠(yuǎn)高于在組裝前對(duì)光電二極管進(jìn)行完全測(cè)試的成本�？焖凫`活的測(cè)試方案對(duì)于減小測(cè)試的成本至關(guān)重要。 在本文中，詳細(xì)介紹了幾種可以滿足現(xiàn)今生產(chǎn)環(huán)境中高通量要求的、高成本效益的直流測(cè)試系統(tǒng)。 了解吉時(shí)利2602型源表更多信息，請(qǐng)戳http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/currentvoltage/2602/ 想與吉時(shí)利測(cè)試測(cè)量專家互動(dòng)？想有更多學(xué)習(xí)資源？可登錄吉時(shí)利官方網(wǎng)站http://www.keithley.com.cn/ |
