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激光二極管（Laser diode，LD）和垂直腔面發(fā)射激光器（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，VCSEL）在光通信、光譜學(xué)和其他許多重要應(yīng)用中是兩種主要的元器件。隨著對上述應(yīng)用的需求的增長，對這兩類基本元件的需求也隨之增長，這就要求人們更加注重于開發(fā)精確且成本經(jīng)濟(jì)性好的生產(chǎn)測試策略。 典型的激光二極管模組由一個激光二極管和背光探測二極管組成。帶溫控的激光二極管模組還可以包括一個半導(dǎo)體制冷器（thermoelectric controller，TEC）和一個熱敏電阻以便對激光二極管工作溫度進(jìn)行精確調(diào)節(jié)，如圖1所示。（另外，在高速激光二極管模組中還包括一個集成的調(diào)制器芯片，未在圖1中示出）。 圖1. 典型激光二極管模組 圖2. 簡化的垂直腔面發(fā)射激光器結(jié)構(gòu)（來源：Kartalopoulos） 相比于標(biāo)準(zhǔn)的激光二極管，垂直腔面發(fā)射激光器VCSEL具有更為復(fù)雜的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，但其封裝結(jié)構(gòu)一般更為簡單。典型VCSEL結(jié)構(gòu)的剖面圖如圖2所示。不同于邊緣發(fā)射激光二極管，VCSEL可實現(xiàn)晶圓級測試，這一特點同時為VCSEL的測試提供了機(jī)遇和挑戰(zhàn)，在下面部分將對其進(jìn)行探討。 需要記住的是，無論這兩種器件中的哪一種，都需要多步工序完成制造。制造中的每一個工藝步驟本質(zhì)上關(guān)乎器件價值的增長，這決定了人們要在執(zhí)行下一步組裝工藝之前進(jìn)行元器件測試。例如，由于背光探測二極管失效導(dǎo)致整個激光二極管模組報廢的成本，要遠(yuǎn)高于在組裝前對光電二極管進(jìn)行完全測試的成本。快速靈活的測試方案對于減小測試的成本至關(guān)重要。 在本文中，詳細(xì)介紹了幾種可以滿足現(xiàn)今生產(chǎn)環(huán)境中高通量要求的、高成本效益的直流測試系統(tǒng)。 了解吉時利2602型源表更多信息，請戳http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/currentvoltage/2602/ 想與吉時利測試測量專家互動？想有更多學(xué)習(xí)資源？可登錄吉時利官方網(wǎng)站http://www.keithley.com.cn/ |
