為了說明什么是微機電系統(tǒng)MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)，首先來解釋一下什么是機電系統(tǒng)。20多年以前，汽車還是一個單純的機械系統(tǒng)，后來隨著電子技術(shù)的發(fā)展，汽車的很多零部件(例如 ...

在高速DWDM系統(tǒng)中，傳輸信道的色散會因溫差而產(chǎn)生變化，使得傳統(tǒng)色散補償光纖難于應(yīng)付。本文介紹了一種基于MEMS的可調(diào)色散補償儀并詳細(xì)講述其工作原理，利用它可以實現(xiàn)真正的多信道色散補償。 ...

MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初，當(dāng)時用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形，會影響其表面的壓敏電阻走線，這種變化可以把壓力轉(zhuǎn)換成 ...

電信業(yè)的需求促使了其發(fā)展方向以光層架構(gòu)成本的大幅度下降為目標(biāo)，而該目標(biāo)的核心就是要減少不必要的光電轉(zhuǎn)換。高度可重構(gòu)的無阻塞全光交叉連接器（OXC）注定要成為降低成本的一個關(guān)鍵部件，并 ...

以微機電系統(tǒng)(MEMS)集成電路(IC)形式實現(xiàn)的運動傳感器正在蜂窩手持設(shè)備的未來發(fā)揮關(guān)鍵作用，這些MEMS加速計使移動電話更便于使用，而且還能夠提高手持設(shè)備的可靠性。由于采用MEMS可以提高靈敏度 ...

汽車輪胎壓力實時監(jiān)視系統(tǒng)(TPMS)已經(jīng)成為中國汽車電子產(chǎn)業(yè)的研發(fā)熱點，在今后的五年里全球預(yù)計會有7億1百萬只輪胎需要安裝胎壓監(jiān)測傳感器。美國法律要求從2007年8月起在美國銷售的所有乘用車和 ...

1 引言 氣相色譜法(GC)是英國生物化學(xué)家MartinATP等人在研究液液分配色譜的基礎(chǔ)上，于1952年創(chuàng)立的一種極有效的分離方法，它可分析和分離復(fù)雜的多組分氣體混合物。目前的氣相色譜系統(tǒng)主要包 ...

對MEMS振蕩器的已超過四十個年頭，然而最近才走向商用化，其中最大的一個障礙是開發(fā)一種經(jīng)濟(jì)并足夠純凈的密閉封裝系統(tǒng)。MEMS振蕩器必須密封于非常潔凈的環(huán)境，因為即使極小的表面污染物也會明顯 ...

EL6249C是美國Elantec半導(dǎo)體公司推出的四通道激光二極管電流放大器｡文中根據(jù)頻閃成像原理,利用EL6249C設(shè)計了一套頻閃驅(qū)動電路,該驅(qū)動電路可驅(qū)動高亮LEC,以產(chǎn)生MEMS動態(tài)測試中所需的頻閃 ...

Leon Foucault在1852年發(fā)明了世界首個陀螺儀，這種傳統(tǒng)的機械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認(rèn)為，利用固定位置上的旋轉(zhuǎn)物體可以測量地球的旋轉(zhuǎn)。在理論上他的想法是正確的，但當(dāng)時他只能讓物體保 ...

一、引言 微機械慣性器件是微機電系統(tǒng)重要的研究內(nèi)容,微慣性器件包括微陀螺和微加速度傳感器。采用微機電技術(shù)制造的微加速度傳感器在壽命、可靠性、成本、體積和重量等方面都要大大優(yōu)于常規(guī) ...

mems （微機電系統(tǒng)）傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器; 1)MEMS傳感器的大批量高精度生產(chǎn)和高可靠性及單價廉價，特 ...