針對(duì)移動(dòng)應(yīng)用的天線設(shè)計(jì)正變得越來(lái)越復(fù)雜，需要靈活的MEMS技術(shù)來(lái)滿足集成新特性和新應(yīng)用的要求。 電視接收等新應(yīng)用和新特性被不斷地集成到無(wú)線器件中。此外，無(wú)線技術(shù)，包括局域網(wǎng)（Wi-Fi） ...

單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測(cè)系統(tǒng) 摘要：傳感器技術(shù)是信息社會(huì)的四大支柱之一，傳感器和計(jì)算機(jī)結(jié)合形成的智能系統(tǒng)大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據(jù)電容的物理特性制 ...

最近幾年利用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS；Micro Electro Mechanical System）技術(shù)，在硅晶圓基板表面制作機(jī)電結(jié)構(gòu)的技術(shù)備受關(guān)注，主要原因移動(dòng)電話與WLAN（Wireless Local Wireless Network）等無(wú)線通信 ...

許多MEMS器件，像加速度計(jì)、機(jī)械共振器件等，都需要在真空環(huán)境下才能實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)功能。然而檢驗(yàn)封裝腔體是否達(dá)到了所要求的真空程度一直一來(lái)都是個(gè)棘手的問(wèn)題。密歇根大學(xué)Khalil Najafi教授研究小 ...

跌倒探測(cè)儀適用于自理能力和自我保護(hù)能力比較差的老年人和兒童，它通過(guò)測(cè)量佩戴該儀器的個(gè)體在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的三個(gè)正交方向上的加速度來(lái)感知其身體姿態(tài)的變化，并可按照需要進(jìn)行報(bào)警和發(fā)布。 跌 ...

提出了一種新型的三明治結(jié)構(gòu)MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu)，與傳統(tǒng)傳感器相比，新結(jié)構(gòu)由于采用了垂直傳熱方式而具有較小的熱損耗。在輸入相同功率的情況下，模擬了熱電堆的溫度分布，三明治結(jié)構(gòu)熱電堆 ...

給出一種用于義齒壓力測(cè)量的微型電容式傳感器的研制工藝和封裝測(cè)試。文中根據(jù)電容式壓力傳感器的原理，采用MEMS工藝，研制出微型傳感器。在與義齒基托相同材料的作底基的樹(shù)脂上挖一個(gè)邊長(zhǎng)為2 rn ...

流量傳感器是眾多醫(yī)療設(shè)備的關(guān)鍵器件，它被用來(lái)監(jiān)視氣體輸出量以確保流量精確。目前可用的流量傳感技術(shù)主要包括壓差傳感、正排量傳感及葉輪傳感。與那些不包含集成的信號(hào)放大與溫度補(bǔ)償電路的測(cè) ...

iPhone和任天堂Wii游戲機(jī)的流行，加速度傳感器在消費(fèi)類電子設(shè)備中得到了廣泛的應(yīng)用。例如，筆記本中的跌落保護(hù)、MP4/手機(jī)中的屏幕自動(dòng)翻轉(zhuǎn)、輕敲手機(jī)掛斷電話以及手機(jī)“翻轉(zhuǎn)靜音”等等。這些應(yīng) ...

1 引 言 近幾年，基于電化學(xué)原理的安培酶免疫檢測(cè)發(fā)展迅速，在食品工業(yè)、環(huán)境監(jiān)測(cè)與處理、生物技術(shù)及臨床診斷等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。 利用抗原抗體之間的特異性親和作用以及酶的催 ...

意法半導(dǎo)體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價(jià)格配合卓越的產(chǎn)品性能，讓意法半導(dǎo)體迅速擴(kuò)大了在消費(fèi)電子MEMS傳感器市場(chǎng)的份額。公司在MEMS技術(shù)特性上實(shí)現(xiàn)了兩全其美：更小尺寸、更低價(jià)格 ...

盡管2009年全球經(jīng)歷了空前的經(jīng)濟(jì)危機(jī)，但是MEMS市場(chǎng)并沒(méi)有受到影響，市場(chǎng)總值幾乎與2008持平，出貨量比2008年同期增長(zhǎng)大約10%，這些數(shù)據(jù)表明，MEMS在消費(fèi)電子市場(chǎng)的滲透率正在不斷提高。據(jù)市調(diào) ...