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作者：SEMI 特約評(píng)論員：釗銘 據(jù)新華社消息，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心最近在22納米技術(shù)代集成電路關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)上取得突破性進(jìn)展。消息稱該中心的研究人員摒棄了傳統(tǒng)的二氧化硅、多晶硅等材料，采用高K材料、金屬柵等新材料、新工藝，研制出了性能良好的器件，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、世界一流。 報(bào)道還介紹在研發(fā)過程中，中國(guó)科學(xué)院與北京大學(xué)、清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)的聯(lián)合項(xiàng)目組完成了1369項(xiàng)專利申請(qǐng)，其中包括424項(xiàng)國(guó)際專利申請(qǐng)，為中國(guó)在集成電路領(lǐng)域掌握自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，取得國(guó)際話語權(quán)奠定了基礎(chǔ)。該成果的取得也為中國(guó)繼續(xù)自主研發(fā)更先進(jìn)的16納米及以下技術(shù)代的關(guān)鍵工藝提供了必要的技術(shù)支撐。 據(jù)了解，美國(guó)Intel 公司采用高K材料和金屬柵結(jié)構(gòu)的22納米微處理器在2011年下半年已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，目前Intel公司正在美國(guó)興建一座全球最先進(jìn)的工廠，預(yù)計(jì)在2014年有望實(shí)現(xiàn)14納米產(chǎn)品的量產(chǎn)。中國(guó)目前最先進(jìn)的、國(guó)家“自主可控”的芯片制造公司是中芯國(guó)際，其量產(chǎn)的能力在45 納米產(chǎn)品。中芯國(guó)際 32 納米產(chǎn)品的量產(chǎn)能力還在形成當(dāng)中，預(yù)計(jì)2013年可以試產(chǎn)。 總體上，中國(guó)最先進(jìn)廠商和國(guó)際一流廠商的生產(chǎn)技術(shù)水平大約相差2～3代（4～5年），而自主研發(fā)的能力相差更大。從中科院有關(guān)項(xiàng)目的進(jìn)展以及項(xiàng)目聯(lián)合單位的組成來看，中國(guó)的基礎(chǔ)集成電路工藝研發(fā)和生產(chǎn)制造之間脫節(jié)的問題還沒有解決。在美國(guó)，象紐約州Albany 納米技術(shù)中心這樣的研究機(jī)構(gòu)承擔(dān)了一些先進(jìn)工藝的先期、探索性的開發(fā)工作，其經(jīng)費(fèi)來源有來自政府的研究基金，也有企業(yè)通過項(xiàng)目合作的方式提供的資助，研究項(xiàng)目和企業(yè)生產(chǎn)實(shí)際結(jié)合的較好。在中國(guó)， “學(xué)院式” 的研發(fā)如何和工廠生產(chǎn)實(shí)踐中遇到的科研問題相結(jié)合還有待磨合。其實(shí)中國(guó)在上世紀(jì)70-80年代曾經(jīng)推廣過的“科研和生產(chǎn)實(shí)踐相結(jié)合”的路子有其非常合理的一面，可惜物極必反，很多事情做過頭又矯枉過正，結(jié)果好的東西反而得不到“批判性”地傳承。 |
