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佳能新發(fā)售KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”Grade10升級(jí)包

發(fā)布時(shí)間:2022-6-13 17:21    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 光刻 , KrF
每小時(shí)晶圓產(chǎn)能可達(dá)300片 實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體光刻行業(yè)更高水平生產(chǎn)

佳能將于2022年8月初發(fā)售KrF 半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”的“Grade10”產(chǎn)能升級(jí)配件包(以下簡(jiǎn)稱“Grade10”升級(jí)包)。KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a” 自發(fā)售至今,已經(jīng)在生產(chǎn)存儲(chǔ)器和邏輯電路的大型半導(dǎo)體器件制造廠商中收獲良好口碑,此次發(fā)布的“Grade10”升級(jí)包將助力該設(shè)備在300mm晶圓規(guī)格基礎(chǔ)上,以每小時(shí)高達(dá)300片晶圓的加工能力實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體光刻行業(yè)內(nèi)的更高水平。
               

佳能半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”               


投入工廠運(yùn)行的“FPA-6300ES6a”設(shè)備

隨著市場(chǎng)對(duì)半導(dǎo)體器件需求的持續(xù)增長(zhǎng),半導(dǎo)體器件制造廠商也在不斷尋求具備更高生產(chǎn)能力的半導(dǎo)體光刻設(shè)備。自2012年4月推出KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”以來(lái),佳能在提升設(shè)備生產(chǎn)能力的過(guò)程中不斷實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的升級(jí)與迭代,并在市場(chǎng)中贏得了客戶群體的廣泛認(rèn)可和高度信賴。

新發(fā)布的“Grade10”升級(jí)包能夠在300mm晶圓規(guī)格基礎(chǔ)上,實(shí)現(xiàn)每小時(shí)300片晶圓的高效率生產(chǎn)。此外,這一升級(jí)包將于2023年在KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”的200mm兼容設(shè)備上得到應(yīng)用。

實(shí)現(xiàn)行業(yè)更高水準(zhǔn)的生產(chǎn)效率

“Grade10”升級(jí)包通過(guò)加快工作臺(tái)和傳送系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng),縮短了曝光時(shí)間和傳輸時(shí)間,以每小時(shí)300片晶圓的產(chǎn)能,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體光刻行業(yè)的更高水準(zhǔn)生產(chǎn)。同時(shí),這是佳能在半導(dǎo)體光刻設(shè)備上首次搭載基于人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的工作臺(tái)控制系統(tǒng),減少高速驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生的振動(dòng),以保持高精度光刻水準(zhǔn)。此外,通過(guò)選取套刻精度(Overlay)配件,在提升產(chǎn)能的同時(shí),更可實(shí)現(xiàn)高達(dá)4nm的套刻精度。

支持現(xiàn)有設(shè)備的升級(jí)

對(duì)于已經(jīng)在半導(dǎo)體器件制造廠商中投入使用的KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a” ,無(wú)需更換設(shè)備即可通過(guò)使用“Grade10”升級(jí)包進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。

未來(lái),佳能將繼續(xù)帶來(lái)多樣化的解決方案,并提供能夠有效提升生產(chǎn)效率的配件升級(jí),更好地滿足半導(dǎo)體光刻設(shè)備市場(chǎng)的需求。

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